적층형 무연 압전 소자 기술
| 대표분류 | 전기전자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국전기연구원 | 연구자 | 정순종 |
| 기술내용 |
TRL 5 [기술개요] ○ 센서 및 액추에이터에 사용할 수 있는 무연 압전 소재와 비귀금속 구리 전극을 동시 소성하여 만드는 적층 소자 제작기술 ○ 거대 변형률 0.3%를 나타내는 무연 압전 세라믹스 소재 및 열 안정성이 개선된 저온소성 무연 압전 소재 제조 가능 ○ 소자 설계 및 시스템 연관 기술을 기반으로 다양한 초정밀 위치 결정 얼라이너에 활용 가능 [기술의 특장점] ○ BNT(BaO-Nd₂O₃-TiO₂)계 복합소재를계 복합소재를 통한 거대 변형률(금속의 결정립 미세화 방법) 0.3% 구현 ○ 내부 전극을 구리로 사용하고 세라믹과 전극을 공기에서 동시 소성한 기술로 제작 단가 절감 ○ 전극을 이루는 금속의 산화 방지로 세라믹 적층 소자의 전기전도도 향상 ○ 초음파 센서, 액추에이터에 사용될 수 있는 다양한 구조가 제작 가능하며, 3차원 구조 시스템에도 적용 가능 [시장동향] ○ 글로벌 압전 액추에이터 시장은 2019년 426백만 달러로 연평균 7.57% 성장하여 2026년 709백만 달러에 달할 것으로 전망 ○ 글로벌 초음파 센서 시장은 2020년 35백만 달러로 연평균 9.6% 성장하여 2027년 66백만 달러에 달할 것으로 전망 [적용분야] ○ 본 기술은 초음파 센서, 액추에이터에 사용될 수 있는 다양한 구조와 3차원 구조 시스템에도 적용 가능하여 다양한 초정밀 위치 결정 얼라이먼트에 활용 가능함 |
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