다성분계 코팅막 복합 증착장치
| 대표분류 | 전기전자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 미공개 |
| 기술내용 | 본 발명에 따른 다성분계 코팅막 복합 증착장치는, 초고경도, 내부식성, 내산화성 특성을 두루 갖춘 나노복합체 형태의 다성분계 하드코팅막을 증착시킬 수 있는 장치로서, 코팅막 증착 시 발생 할 수 있는 드롭렛이나 대형이자를 줄이고, 플라즈마 밀도를 높임으로서 높은 이온화율에 의한 코팅막의 특성 향상 및 건전성 확보, 코팅막 증착 속도 및 효율 향상, 코팅 증착 시 분위기 온도 감소 등의 효과를 볼 수 있는 장치임 | ||
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