| 기술내용 |
다공성 박막을 기판에서 효과적으로 분리하기 위하여, 다공성 박막 내의 밀도변화와 기판의 표면개질을 이용하여 분리하는 기술임 다공성 막 자체의 기계적 물성 향상을 위하여 다공성 막의 최상부와 하부에 고진공 막을 형성하여 다공성 박막의 기계적 물성을 확보하고(다공성 막 구조 최적화), 다공성 막을 먼저 형성하여 기판과의 접촉을 최소화하고 기판 발수처리를 하여 접합력을 최소화 함으로서 다공성 박막을 분리해 내는 기술(밀도제어 및 기판 표면처리) 본 발명은 Gas Evaporation을 이용하여 다공성 막을 형성함과 동시에 자기장을 이용하여 다공성 막의 패터닝을 실현하는 기술임 일반적인 evaporation과 달리 높은 압력에서 증착함으로써 나노구조를 형성하고 자성물질로 이루어진 다공성 박막을 자기장을 이용하여 패터닝 하는 기술임 다공성 막을 먼저 형성하여 기판과의 접촉을 최소화하고 기판 발수처리를 하여 접합력을 최소화 함으로서 다공성 박막을 분리해 내는 기술(밀도제어 및 기판 표면처리) |
