레이저를 이용하여 제조되는 방전관과 그 제조 방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 미공개 |
| 기술내용 | 본 기술은 유전체 장벽 방전(Dielectric barrier discharge, DBD)이 적용된 플라즈마 전극에 레이저의 투과성을 이용하여 가공이 어려운 원통형 석영관 내부에 기존의 강도를 유지하며 패턴을 형성하고 패턴에 도전성 도료(Conductive paste)를 삽입함으로써, 전극사이의 간격이 줄어들어 방전에 필요한 전압과 전력을 낮추고 원하는 형태의 패터닝을 통한 좀 더 균일한 유전체 장벽 방전을 구현할 수 있는 플라즈마 장치의 전극 제조 방법에 관한 것임 | ||
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