거래기술 Direct채널

판매기술

고감도 산화물 박막 가스센서 상세정보
대표분류	나노기술
연구기관	한국과학기술연구원	연구자	장호원, 윤석진, 김진상, 강종윤, 최지원, 문희규
기술내용	산소 플라즈마를 이용한 공허 반구체 형태 나노구조 산화물 박막 제조 기술 이를 이용한 고감도 고신뢰성 가스센서 제조 기술 ! ( 산화물 가스센서 : 원리간단, 낮은 동작전압, 작은부피, 반도체 박막 공정에 따른 신뢰성 증대 )
자료집	다운로드