나노 구조물을 갖는 압력 센서
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국과학기술연구원 | 연구자 | 김진석, 서준교, 강성철, 이정훈 |
| 기술내용 |
MEMS pressure sensor : MEMS pressure sensor의 생산량은 200 million 이상(2005) Automotive, medical, industrial, military application 영역에서 점차 점유율 확대 - Automotive ->Engine manifold monitoring, tire pressure monitoring, oil & break pressure ->연료의 경제성과 자동차의 안전 향상 - Medical -> 안구 내, 두개 내, 동맥 등의 pressure 측정 및 혈압 측정에 사용 제안된 sensor의 필요성 : 기술이 발전함에 따라 높은 sensitivity와 빠른 응답속도를 갖는 pressure sensor를 요구 상용화된 pressure sensor (106B model, PCB PIEZOTRONICS 社) Sensitivity : 43.5 mV/kPa 응답 속도 : <1 ms 제안된 pressure sensor 나노 구조물을 포함하여 sensor의 sensitivity와 응답 속도 향상 예상 예상 sensitivity : 50 mV/kPa (센서의 소형화에 따른 신호 감소 효과) Limit of detection: <20 kPa 예상 응답 속도 : <1 ms (PZT) <100 ms (PVDF) |
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