고응답 압력센서
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
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| 연구기관 | 한국과학기술연구원 | 연구자 | 미공개 |
| 기술내용 |
ㅇ공정상 장점 -상용화 된 PCB, FPCB 기판을 압력 센서의 하판으로 사용할 수 있으므로 원가 절감 및 센서와 회로 간의 집적이 용이 -용액 기반 공정, 상온 공정 및 대면적 공정 용이 -저항 변화 방식 구동으로, 센서 구조가 단순 ㅇ성능상 장점 -PCB, FPCB 기판의 전극 모양에 따라 민감도 제어가 용이 -넓은 구동 압력 범위 (1~400 kPa 이상 ) -빠른 응답성 (<20 ms) -저항 변화 방식 구동으로, 낮은 구동 전압 (1 V 이하 ) 및 구동 전력 (~수 uW ) |
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