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비정질 실리콘 결정화 방법
비정질 실리콘 결정화 방법 상세정보
대표분류
전기소자
연구기관
국가핵융합연구소
연구자
박종배, 김영우, 김대철
기술내용
본 기술은 능동행령 액정디스플레이 능동소자 및 전기 발광 소자의 스위칭 소자 원료로 사용되는 비정질 실리콘 결정화 방법임
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