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이온 빔 공급장치 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	국가핵융합연구소	연구자	이강일, 최용섭, 정용호, 김영우, 박종배
기술내용	본 기술은 고진공의 조건에서 진행되는 공정중 발생되는 정전기를 제거하기 위한 플라즈마 빔(charged particle) 공급 장치
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