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Radical Mist Generator 상세정보
대표분류	분리/혼합
연구기관	국가핵융합연구소	연구자	홍용철, 김강일, 김지훈, 허진영
기술내용	본 기술은 반도체, 유리 또는 난삭제 물질 등의 표면 세정 및 표면 코팅에 적합한 액체를 분사하는 액체 플라즈마 젯 분사 장치
자료집	다운로드