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ECR 플라즈마를 이용한 이온빔 장치 및 고품질 박막 증착을 위한 스퍼터 장치

ECR 플라즈마를 이용한 이온빔 장치 및 고품질 박막 증착을 위한 스퍼터 장치 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 유 석재, 김 성봉
기술내용 선형(Linear) 구조 및 원형(Cylinder) 구조 모두가 가능한 ECR 플라즈마 발생 장치에 관한 기술로써 벨트형 자석 구조와 이에 맞는 마이크로파 Launcher가 핵심 기술
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