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롤투롤 증착 공정이 가능한 선형 고밀도 ECR 플라즈마 발생 장치

롤투롤 증착 공정이 가능한 선형 고밀도 ECR 플라즈마 발생 장치 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 김종식, 김영우, 홍승표
기술내용 본 기술은 저압에서 고밀도 선형 플라즈마를 발생시킬 수 있는 장치에 관한 기술
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