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플라즈마 상태 진단 방법 및 장치

플라즈마 상태 진단 방법 및 장치 상세정보
대표분류 전기전자
연구기관 국가핵융합연구소 연구자 송중호
기술내용 반도체 및 디스플레이 플라즈마 공정을 모니터링에 이용하는 광학발광분석(OES, Optical Emission Spectroscopy)장치의 데이터를 머신러닝으로 분석 하여 공정 진행사항, 결과 예측을 수행 할 수 있도록 하는 입력 데이터 생성 방법
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