단결정 성장로 가열 장치
| 대표분류 | 도금 | ||
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| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 이영철, 김영민, 조형호, 김형재, 김성렬 |
| 기술내용 | 본 기술은 LED(Light Emitting Diode)의 기판으로 사용되는 사파이어 단결정을 생성하기 위한 성장로 가열 장치다. 본 기술에 따르면 성장로에 부여하는 열원의 온도를 각 구역마다 다양하게 제어 가능함으로써 기포 발생율을 저하시킬 수 있다. 또한 양질의 사파이어를 얻을 수 있으므로 전체적인 생산률을 향상시킬 수 있으며 각 온도 제어 구간마다 정확한 제어가 가능할 시 장치의 자동화도 가능하다. | ||
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