박막 제조 방법, 박막 태양전지
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 김태원, 박재철, 김호성, 오익현 |
| 기술내용 | 본 기술은 CIS, CGS 박막 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 박막 태양전지이다. 본 기술들에 따르면, 전극층의 상부에 Cu, In, Se 또는 Cu, Ga, Se 을 포함하는 단일타겟을 스터퍼링 처리하여 광흡수층을 증착하여 CIS 또는 CGS 박막을 제조함으로써, 구조적, 광학적 우수한 특성의 CIS 또는 CGS 박막 태양전지를 제공한다. 또한, 본 기술을 통해 단 한번의 공정 박막을 제조하므로 공정의 간소화 뿐 아니라 경제성 및 효율성을 증가시킬 수 있다. | ||
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