레이저간섭 노광을 이용한 대면적 미세패턴
| 대표분류 | 기타 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 이성호, 김종석, 강경태, 이상호 |
| 기술내용 | 본 기술은 미세 패턴의 비평면적 전사 방법 및 이를 이용한 미세 패턴을 전하산 물품에 관한 기술이다. 본 기술에 따라 평면구조의 기판 상부에 희생층 및 패턴 형성층을 코팅 시킨 후 코팅된 패턴형성층 상부에 미세패턴을 대면적으로 형성하고 미세 패턴이 전사된 패턴형성층을 분리시켜 대상 물품에 접착시켜 다양한 물품, 특히 비평면적 구조 물품에도 효과적으로 미세패턴을 전사할 수 있게 한다. | ||
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