MoN-Cu 코팅층 제조방법

MoN-Cu 코팅층 제조방법 상세정보
대표분류 도금
연구기관 한국생산기술연구원 연구자 문경일, 신승용, 정덕형
기술내용 본 기술은 코팅층이 적용되는 분야에 따라 기판과 코팅층 사이에 해당 부품에서 요구되는 중간층의 밀착력을 확보하도록 한 MoN-Cu 코팅층 제조 방법 및 그 MoN-Cu 코팅층에 관한 기술이다. 본 기술에 따르면, 스틸재로 이루어진 기판과, 기판에 코팅되는 MoN-Cu 층 간의 밀착성 향상을 위해 MoN-Cu층을 코팅하기 전에 Mo-Cu 합금 타겟을 이용해 중간층을 스퍼터링 코팅하는 단계를 포함한다. 이에 따라 높은 경도와 밀착력, 그리고 우수한 마찰특성을 요구하는 다양한 부품에 적용 가능한 효과가 있다.
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