실리콘 나노 와이어
| 대표분류 | 나노기술 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 정채환, 전민성, 김진혁, 고항주, 이석호 |
| 기술내용 | 본 기술은 실리콘 나노 와이어 제조방법과 실리콘 나노와이어를 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 기술이다. 본 기술에 따라 저온 고밀도 플라즈마를 이용하여 씨드층을 형성하고, 씨드층을 이용하여 실리콘 나노와이어를 제조할 수 있다. 본 기술에 따르면 기판, 제1++형 다결정 실리콘층, 제1형 실리콘 나노 와이어층, 진성층, 제2형 도핑층을 포함하는 태양전지를 제조 가능하다. | ||
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