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생산성을 높일 수 있는 웨이퍼 적층 방법
생산성을 높일 수 있는 웨이퍼 적층 방법 상세정보
대표분류
전기소자
연구기관
한국생산기술연구원
연구자
유세훈, 이창우, 김준기, 고영기
기술내용
본 기술은 필링 금속이 필링된 웨이퍼를 적층하는 방법이다. 본 기술에 따르면, 웨이퍼 방에 돌출부를 형성함으로써 웨이퍼 적층을 위한 전체 과정을 간소화시킬 수 있다. 본 웨이퍼 적층 방법은 효율적인 공정 과정을 통해 제품의 생산성을 높일 수 있으므로 시장 점유율을 향상시킬 수 있다.
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