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구리 확산 방지막 제조 방법 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국생산기술연구원	연구자	최범호, 송상인, 이홍기, 이종호
기술내용	본 기술은 구리 확산 방지막 제조기술이다. 이리듐(Ir) 전구체를 둘러싸고 있는 유기 리간드를 빠른 시간 내에 분해하고 증착 시키는 과정을 통해 유기 리간드를 일정 시간 동안 제거하며, 이를 통해 비활성 가스를 확산시켜 구리 확산 방지막을 생성한다.
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