자가 촉매형 무전해니켈-인-코발트 도금액
| 대표분류 | 도금 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국생산기술연구원 | 연구자 | 이홍기, 전준미 |
| 기술내용 | 본 기술은 미량의 디메틸아민 보란이 첨가된 자기 촉매형 무전해 니켈-인-코발트 도금액에 관한 기술로, 활성화 처리 공정 없이 자기촉매 반응에 의해 도금 가능한 미량의 디메틸아민 보란이 첨가된 선택적 무전해 니켈-인-코발트 삼원합금 도금액 및 이를 이용한 도금방법이다. 본 기술에 따른 도금액을 사용해 구리 배선 등 의 다양한 반도체 소재를 도금하는 경우, 환원력이 높은 보란을 환원제로 사용한 도금액의 단점인 밀착성 저하가 개선되며, 활성화 처리 공정을 거칠 필요 없이 자기촉매반응을 이용해 직접 환원되어 도금이 가능하다는 장점을 가진다. | ||
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