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고이동도 산화물 TFT 소자 기술

고이동도 산화물 TFT 소자 기술 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 한국전자통신연구원 연구자 박상희, 유민기, 오힘찬, 황치선
기술내용 고해상도 고속 동작 디스플레이의 백플레인 소자로 사용이 가능한 고이동도 산화물
TFT를 고안정성을 유지하기 위한 구조 특허임
- ALD (원자층증착법)을 이용하여 수소 베리어를 형성하는 것이 기본 구조임
고이동도 산화물 TFT에 대한 공정 노하우 기술 전수 가능
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