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유기기상증착법을 이용한 나노렌즈어레이 제조방법
유기기상증착법을 이용한 나노렌즈어레이 제조방법 상세정보
대표분류
광학
연구기관
한국전자통신연구원
연구자
-
기술내용
본 기술은 유기기상증착법(Organic Vapor Phase Deposition, OVPD)을 이용하여 마스크나 포토라쏘그래피와 같은 후공정 없이 OLED 상부전극 또는 박막봉지층 위 에 바로 나노렌즈 어레이를 형성하는 제조공정임
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