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수소 베리어 구조가 포함된 산화물 TFT 소자 기술 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국전자통신연구원	연구자	조성행, 양종헌, 황치선
기술내용	원자층증착법(Atomic Layer Deposition, ALD)을 이용하여 산화알루미늄층을 형성하여 산화물 TFT 소자 내 수소의 영향을 제거하는 기술
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