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두께 측정 장치 및 두께 측정 방법 상세정보
대표분류	측정/검사/시험
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	김종안, 김재완, 이재용, 우제흔
기술내용	반도체, 디스플레이 산업의 증착, 적층, 식각 등의 제조 공정에서 신속하고 정확하게 두께를 측정할 필요가 있는 각 공정에 적용이 가능한 기술임 가간섭성을 갖는 확장된 단색광을 측정 대상에 입사하여 반사된 2개 반사광에 의하여 형성된 간섭무늬를 분석하여 나타난 위상 변화 곡선으로 정확하게 두께를 측정함
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