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유도 가열 선형 증발 증착 장치 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	이주인, 신용현
기술내용	유기 박막을 증착하는 유도 가열 선형 증발 증착 장치로서, 유도가열 구조의 상향식 및 하향식 선형 증발 장치를 제공하고 분사각도가 좁고 높은 직진성을 가진 유도 가열 증발원 구조의 선형 증발 장치를 제공함
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