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광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행력 측정방법

광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행력 측정방법 상세정보
대표분류 측정/검사/시험
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 조용재, 제갈원, 조현모
기술내용 나노 시료들의 박막의 두께 및 나노 패턴의 형상과 같은 물성을 비파괴적으로 측정평가하는 기술임
광소자-회전형 타원계측기의 기본 기술을 개량하여 측정 정확도와 정밀도를 향상시킨 기술로 개량기술에 해당됨
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