광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치
| 대표분류 | 성형(연삭, 주조, 가공 등) | ||
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| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김학용, 이주형, 이재협, 전병혁, 양호순 |
| 기술내용 |
본 발명은 대구경 광학 거울의 연삭 및 연마가공 시 거울을 지지라기 위한 공압시스템에 있어서 중력에 의해 거울 표면 형상이 왜곡되는 현상을 해결하기 위한 중력보상장치를 구비한 공압시스템에 관한 것이다. 공압시스템은 경량화된 거울의 뒷면을 공압으로 공중에 띄운 상태에서 모든 가공이 이뤄지도록 구현한것으로서, 거울의 뒷면이 균일한 압력으로 지지되기 때문에 거울의 앞면을 연마할 때 생기는 퀼팅변형을 없앨 수 있다. 한편, 거울의 연마 가공시 거울을 지지하기 위한 공압시스템에 있어서 중력에 의한 거울의 표면형상 왜곡을 보상하는 장치에 관한 것으로서, 거울면의 가공량에 따른 거울 무게중심의 이동과 이로 인한 거울의 표면 왜곡을 무게추의 무게와 위치를 조절함으로써 효과적인 상쇄시킬 수 있다. |
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