단결정 웨이퍼의 면방위 측정 기술
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김창수, 빈석민 |
| 기술내용 |
본 기술은 고분해능 X-선 회절법의 로킹커브 측정을 이용하여 단결정 웨이퍼의 면방위, 즉 표면각 뿐만 아니라 표면각의 방향까지 정밀하게 결정할 수 있는 웨이퍼 방위 측정 방법이다. 측정 장비의 회전축과 웨이퍼 표면수직축이 이루는 편심 각도 및 방향까지도 측정 가능단결정웨이퍼의 산업적 응용성이 확대되고 면방위의 정밀 제어에 대한 수요가 크게 증가함으로서 반도체 및 LED 산업에서의 단결정 생산 및 품질 제어에 대한 사업성과 시장성이 높을 것으로 기대단결정 산업에 응용되는 단결정 웨이퍼의 생산성 향상 및 제품의 품질 향상에 기여할 수 있다. |
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