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오늘의 신기술 전구체의 증기압 측정장치 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	윤주영, 김진태, 강상우, 신용현
기술내용	본 기술은 화학증착 및 원자층 증착법에 이용되는 저눅체 및 각종 유, 무기 물질들의 증기압을 측정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.
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