기체투과도 측정 장치 및 기체투과도 측정 방법
| 대표분류 | 전기소자 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 박창준, 안상정, 안종록, 한철수 |
| 기술내용 | 질량분석기의 이온발생장치인 이온원은 질량분석기의 감도 및 분해능에 큰 영향을 주는 핵심부품이다. 일반적으로 많이 사용되는 형태인 전자충격 이온원에서는 가열된 필라멘트에서 생성된 열전자가 양극에 설치된 슬릿형태의 입구를 통하여 들어가서 양극내부에 존재하는 가스와 충돌하여 이온을 발생시킨다. 그런데 전자입구로 설치되는 이 슬릿은 양극의 외부표면적과 비교하여 무시할 수 없는 넓이를 가지므로 외부전압의 침투에 의하여 양극내부 전압분포가 불균질해진다. 이로 인하여 전자궤적은 많이 확산하게 되어서 이온화효율이 감소한다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 전자입구슬릿에 메쉬를 형성하거나 부착하여서 양극내부전압을 균질하게 만들어서 이온화효율을 높이고 발생된 이온들을 사중극자 필터 방향으로 더 효율적으로 밀어준다. 이와 같이 이온화효율을 높이는 동시에 발생된 이온들을 더 효과적으로 사중극자필터로 넣어줌으로서 질량분석기의 감도를 향상시킨다. | ||
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