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유리를 이용한 주사전자현미경의 반사전자 검출기 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	조양구, 이확주, 배문섭, 허지호, 김주황
기술내용	지금까지의 Si을 기반으로 하는 반도체공정의 경웅 고가의 반도체 공정을 활용함으로서 비교적 제조단가가 비싼 반면에 이번에 유리를 기판으로 제조할 경우 기체반응가스로 박막을 성형하므로 대량으로 값싸게 반도체 검출기를 양산할 수 있다.
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