웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치
| 대표분류 | 전기소자 | ||
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| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 김창수, 유병윤, 빈석민, 김주황, 전현구 |
| 기술내용 |
본 기술은 웨이퍼의 정밀한 면방위 측정을 위한 홀더 및 장치에 관한 것이다. 웨이퍼와 홀더가 맞닿는 곳에 X선이 조사될 수 있는 홈을 만들어 홀더의 상하 움직임이 없이 측정이 가능하며, 웨이퍼의 기준 엣지를 측정 기준방향으로 설정할 수가 있는 웨이퍼 면방위 측정용 홀더 및 이를 포함하는 측정 장치이다. 웨이퍼의 표면축과 웨이퍼를 회전시키는 측정 장비와 웨이퍼 표면 수직축에 대한 회전축의 편심을 고려하도록 웨이퍼 배치 시 기존 측정 위치에서 측정 후 웨이퍼를 일정각도 회전 시켜 고정하여 추가 측정이 가능하다. |
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