원자현미경 3차원 스캔형상 교정기술
| 대표분류 | 측정/검사/시험 | ||
|---|---|---|---|
| 연구기관 | 한국표준과학연구원 | 연구자 | 이윤희, 김용일, 박종서 |
| 기술내용 | 원자현미경을 이용한 정량적인 3차원 나노형상 측정이 요구되고 있으며, 표준기급 원자현미경에 대한 개발이 요구되고 있으나 대학이나 산업체의 측정, 분석실에서 갖추기는 곤란하다. 따라서 형태를 원자현미경용 단차(높이) 기준편에 구형입자 기준물과 같이 곡률반경이 정보가 명확한 2차 기준편을 복합함으로써 손쉽게 원자현미경의 X,Y,Z스캔형상(크기)에 대한 교정기술을 제공한다. | ||
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