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입자 빔 질량 분광 광도계 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	강상우, 신용현, 김태성, 문지훈, 윤주영
기술내용	본 발명은 하나의 펌프를 이용하여 PBMS의 제 1 및 제 2 챔버의 압력을 조절할 수 있도록 구조가 개선된 입자 빔 질량 분광 광도계를 제공하는데 그 목적이 있다
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