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두께측정기술 반사광과 간섭광을 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법

두께측정기술 반사광과 간섭광을 이용한 다층막 구조물의 두께와 형상 측정장치 및 측정방법 상세정보
대표분류 측정/검사/시험
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 김영식, 이혁교, 이윤우
기술내용 수십 나노미터(nm)에 이르는 매우 미세한 물질의 두께 변화를 측정해내는 KRISS의 '두께 측정 장치' 기술을 소개합니다.
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