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반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 트렌드 관측 및 진단분석 기술

반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 트렌드 관측 및 진단분석 기술 상세정보
대표분류 기계
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 정완섭, 임종연, 정광화, 이수갑
기술내용 본 기술은 반도체 및 평판디스플레이 공정용 건식 진공펌프의 상태진단 및 예지보수를 위한 정밀 상태진단 기법과 실 공정에서 진공펌프들의 고장방지(failure protection) 예측 기술
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