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반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치 및 기술

반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치 및 기술 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 윤주영, 임종연, 신용현, 정광화
기술내용 본 기술은 파이프 해체 작업 없이 파이프 내벽의 막힘 여부, 오염 정도를 진단하는 기술
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