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전자 현미경 및 이온현미경 개발 시 꼭 필요한 팁 클리닝 기술
전자 현미경 및 이온현미경 개발 시 꼭 필요한 팁 클리닝 기술 상세정보
대표분류
전기소자
연구기관
한국표준과학연구원
연구자
박인용, 안상정, 조복래, 한철수, 박창준, 김주황, 허인혜
기술내용
본 기술은 질소가스를 이용하여, 전기화학적 에칭(electro-chemical etching)방법으로 제작된 팁의 표면 오염물질올 초고진공에서 제거하고, 단원자 팁(single atom tip)까지 연속적으로 제작하는 방법
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