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유해물질 미량분석용 원소분석방법 및 플라즈마 질량분석 장치

유해물질 미량분석용 원소분석방법 및 플라즈마 질량분석 장치 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 -
기술내용 본 기술은 플라즈마 처리에 더하여 자외선을 조사하는 방법으로 원소들에 대한 이온화 효율을 높여서 원소 분석을 수행할 수 있는 원소 분석 방법 및 이 원소 분석 방법을 이용하는 새로운 유도 결합 플라즈마 발생장치에 대한 것
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