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고집적 메모리용 나노전자소자 및 그 제조방법 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	윤완수, 강성웅, 박형주
기술내용	본 기술은 고집적, 고용량 비휘발성 메모리 제작을 위한 나노전자소자 제조기술 방법
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