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탄소나노튜브를 이용한 반도체 공정용 소형 압력센서 제조기술 상세정보
대표분류	측정/검사/시험
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	최인묵외 2인
기술내용	본 기술은 소형 압력센서 제작용 탄소나노튜브의 전계 효과를 이용한 압력센서
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