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반도체 공정용 진공펌프 고장 예측기술 상세정보
대표분류	기계
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	정완섭, 임종연, 정광화, 이수갑
기술내용	반도체 및 평판디스플레이 공정용 건식 진공펌프의 상태진단 및 예지보수를 위한 정밀 상태진단 기법과 실 공정에서 진공펌프들의 고장방지 예측기술
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