장시간 사용이 가능한 주사전자현미경의 전자통과막보호 장치 제조기술

장시간 사용이 가능한 주사전자현미경의 전자통과막보호 장치 제조기술 상세정보
대표분류 전기소자
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 조양구, 배문섭, 이확주, 김주황
기술내용 시료를 관찰하고 있지 않은 순간에 전자빔이 전자통과막을 통과하지 않도록 하여 전자통과막의 수명단축을 방지할 수 있는 기술
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