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박막 두께를 삼차원 형상으로 측정하는 기술 상세정보
대표분류	측정/검사/시험
연구기관	한국표준과학연구원	연구자	김영식, 이혁교, 양호순, 이윤우
기술내용	본 기술은 백색광간섭법을 이용한 박막 두께 형상 측정 방법에 관한 것
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