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파장주사 층밀리기 간섭계를 이용한 자유곡면의 삼차원 형상 측정 장치

파장주사 층밀리기 간섭계를 이용한 자유곡면의 삼차원 형상 측정 장치 상세정보
대표분류 측정/검사/시험
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 김영식, 이혁교, 이주형, 양호순, 이윤우
기술내용 본 기술은 3차원 형상 측정 방법에 관한 것으로, 자유곡면 광학 표면을 가지는 측정 대상의 3차원 형상을 측정하는 파장주사 층밀리기 간섭 장치에 관한 것
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