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고집적 메모리 반도체 제조를 위한 미세 패턴의 선폭 및 깊이를 동시에 측정하는 기술

고집적 메모리 반도체 제조를 위한 미세 패턴의 선폭 및 깊이를 동시에 측정하는 기술 상세정보
대표분류 측정/검사/시험
연구기관 한국표준과학연구원 연구자 진종한, 김재완, 김종안, 강주식
기술내용 초소형 대용량 메모리 반도체 생산을 위한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 동시 측정기술
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