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미세방전공극을 형성하는 평판형 고농도 및 고순도 오존생성장치

미세방전공극을 형성하는 평판형 고농도 및 고순도 오존생성장치 상세정보
대표분류 화학
연구기관 한국기계연구원 연구자 손영수, 함상용, 김병인, 문세호
기술내용 차세대 반도체나 OLED 제조공정에의 활용을 위하여 초미세 방전공극형성을 통하여 Footprint를 최소화하고 오존생성수율을 극대화할 수 있는 고농도/고순도의 오존생성장치 기술
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