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리모트 플라즈마 발생장치 상세정보
대표분류	전기전자
연구기관	한국기계연구원	연구자	강우석, 허민, 이재옥, 송영훈, 김관태, 이대훈
기술내용	광범위한 운전영역내에서 기판의 손상을 줄이는 효과적인 공정이 가능한 플라즈마 발생장치
자료집	다운로드