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에너지절약형 매엽식 1MHz급 메가소닉 상세정보
대표분류	전기소자
연구기관	한국기계연구원	연구자	이양래, 임의수, 김현세
기술내용	소비전력을 1/30, 세정액을 1/10 정도만 사용하는 에너지절약형 반도체 웨이퍼 세정공정용 매엽식 메가소닉
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